カーボンナノチューブ (800レス)
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141: 2014/11/14(金)12:55 AAS
新材料 カーボンナノチューブ: ≫ 2014年01月24日
立体交差もできる! 銅の100倍電流を流せるカーボンナノチューブ材料で微細配線加工に成功
産業技術総合研究所と単層CNT融合新材料研究開発機構は、単層カーボンナノチューブと銅の複合材料による微細配線加工に成功したと発表した。
高い信頼性が要求される車載用デバイスや大電力を扱うデバイスのバックエンド配線をはじめ、シリコン貫通ビアやインタポーザなどでの応用を目指す。
http://eetimes.jp/ee/articles/1401/24/news032.html
http://image.itmedia.co.jp/ee/articles/1401/24/tt140124AIST011.jpg
半導体デバイス製造工程などで広く用いられる水溶性メッキ液を用いた電気メッキが行えない。そこで、産総研などは、有機メッキ液を用いた電気メッキで、CNT構造体内に銅をメッキする方法を導入。
有機メッキ液を用いた電気メッキは、メッキ時間が極めて長いため、有機メッキ液を用いた電気メッキでは銅核形成にとどめ、その後、水溶性メッキ液を用いて銅を成長させる「2段階電気メッキ法」で、単層CNTと銅の複合化を実現した。
http://image.itmedia.co.jp/ee/articles/1401/24/tt140124AIST014.jpg
配線加工は、CNTウエハーを電子ビームを用いてエッチングした後、2段階電気メッキで銅と合成したという。CNTウエハーのエッチングは、フォトリソグラフィも用いることができるという。
省2
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