[過去ﾛｸﾞ] 民◯党類ですが猗窩座祭りです (1002ﾚｽ)
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194(1): 警備員[Lv.19] (ﾌﾞｰｲﾓ MMb3-Z0MR) 08/20(水)18:15 ID:Jr2KphEXM(6/6) AAS
>>191
原料はともかくニコンの機材はとっくに負けて追い出されたと聞いたが
202: 警備員[Lv.89][苗] (ﾜｯﾁｮｲ b3bd-uNzz) 08/20(水)18:27 ID:7LNaa9en0(7/33) AAS
>>194
先端プロセスでもEUV使うのは露光全体の６０層前後のうちほんの２～３層でしかなく、
殆どはi線やKrF・ArFと言った昔ながらのプロセスで作るのよ。
なので生産増やすにはEUVだけでなく、古いプロセスの露光装置もコストを抑えるためには欠かせない。
ニコンは古いASMLのArF未満置き換え狙いで新型露光装置投入開始しているのよね。
蘭ASML製と互換性…ニコン、ArF液浸露光装置を28年度投入
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