★☆雑談・質問・速報その他なんでもスレ３☆★

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921(1): 03/10/01 20:01 AAS
off-axisでのスパッタやってる方いますか？
基板―ターゲット間距離をどのように決めればいいのか、
一般的な距離はどのくらいなのか教えてください・・・。